академии наук Институт физики микроструктур РАН
- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Понятие вакуума.Вакуумная техника.Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАНдокладчик: А.Е. Пестов презентация
Содержание
- 1. Понятие вакуума.Вакуумная техника.Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАНдокладчик: А.Е. Пестов
- 2. Понятие вакуума ═> ~ 1. низкий
- 3. Поршневой насос Отто фон Герике 1650 г.
- 4. Роторный форвакуумный насос Предельное давление пластинчато-роторных насосов
- 5. Спиральный форвакуумный насос Вход Выход Предельное
- 6. Диффузионный насос принцип действия Предельное давление
- 7. Вход Выход Турбомолекулярный насос Предельное давление -
- 8. Геттеро-ионный насос Вакуумный магниторазрядный насос НМД-1
- 9. Откачной пост Криогенный насос Азотная ловушка
- 10. Измерители давления (вакуумметры) Жидкостный U-образный манометр Диапазон
- 11. Измерители давления (вакуумметры) Термопарный вакуумметр
- 12. Вакуумные материалы Давление насыщенных паров материалов Газовыделение
- 13. Разъемные соединения Резиновое уплотнение Металлическое уплотнение
- 14. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Спасибо за внимание!
- 15. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Понятие вакуума ═> ~ 1. низкий вакуум: 760>Р>1 мм рт.ст. (105>P>102 Па) 2. средний : 1>Р>10-3 мм рт.ст. (102>P>10-1 Па) 3. высокий:
Слайд 1Понятие вакуума.
Вакуумная техника.
Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН
докладчик: А.Е. Пестов
Учреждение Российской
Слайд 2Понятие вакуума
═>
~
1. низкий вакуум: 760>Р>1 мм рт.ст. (105>P>102 Па)
2. средний :
1>Р>10-3 мм рт.ст. (102>P>10-1 Па)
3. высокий: 10-3>Р>10-7 мм рт.ст. (10-1>P>10-5 Па)
4. сверхвысокий: Р<10-7 мм рт.ст. (P<10-5 Па)
3. высокий: 10-3>Р>10-7 мм рт.ст. (10-1>P>10-5 Па)
4. сверхвысокий: Р<10-7 мм рт.ст. (P<10-5 Па)
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
PV=νRT - уравнение Менделеева - Клайперона
═>
PV=nkT
1. V/T=const - Гей-Люссака
2. PV=const - Бойля-Мариотта
3. Рсум=Р1+Р2+…+Рn - Дальтона
Вакуум – газ под давлением ниже атмосферного
1873 г. – первая лампа накаливания
(первое применение вакуума)
Слайд 3Поршневой насос
Отто фон Герике 1650 г. – первые эксперименты по изучению
вакуума
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Объемная откачка
Слайд 4Роторный форвакуумный насос
Предельное давление пластинчато-роторных насосов достигает 10-3 Па.
1 –
рабочий объем; 2 – ротор-эксцентрик; 3 – подвижная пластина; 4 – пружина; 5 – впускной объем; 6 – выпускной объем.
Недостаток: масляная откачка
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Объемная откачка
Слайд 5
Спиральный форвакуумный насос
Вход
Выход
Предельное давление - 10-2 Па.
Безмасляная откачка
Учреждение Российской академии
наук Институт физики микроструктур РАН
Объемная откачка
Слайд 6
Диффузионный насос
принцип действия
Предельное давление - 10-6 Па.
ВХОД НАСОСА
Учреждение Российской академии
наук Институт физики микроструктур РАН
Пароструйная откачка; наибольшее рабочее давление 10-1 Па
Слайд 7Вход
Выход
Турбомолекулярный насос
Предельное давление - 10-6 Па.
Частота вращения 30-50 тыс.об./мин
Учреждение
Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Молекулярная откачка; наибольшее рабочее давление 10-1 Па
Слайд 8Геттеро-ионный насос
Вакуумный
магниторазрядный
насос
НМД-1
Предельное остаточное давление ~ 10-8 Па.
Учреждение Российской академии наук
Институт физики микроструктур РАН
Сорбционная откачка; наибольшее рабочее давление 10-3 Па
Слайд 9Откачной пост
Криогенный насос
Азотная ловушка
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Предельное
давление - 10-11 Па.
Магнито-разрядный насос
Слайд 10Измерители давления (вакуумметры)
Жидкостный U-образный манометр
Диапазон измерений 103-105 Па
ΔP=ρgΔh
ρ – плотность
жидкости;
g – ускорение свободного падения; Δh – изменение высоты
g – ускорение свободного падения; Δh – изменение высоты
Деформационный
(мембранный) манометр
Диапазон измерений 101-105 Па
а) механический датчик
б) емкостной датчик
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Слайд 11Измерители давления (вакуумметры)
Термопарный вакуумметр
Ионизационный
(электронный)
вакуумметр
Ионизационный
(магнитный)
вакуумметр
ПМТ-2
ПМИ-2
ПММ-32
Учреждение Российской академии наук Институт
физики микроструктур РАН
Низкий вакуум (105-10-2 Па)
Высокий вакуум (1-10-11 Па)
Qэл= Qи+Qк+Qт
Слайд 12Вакуумные материалы
Давление насыщенных паров материалов
Газовыделение нержавеющей стали
Газопроницаемость вакуумных материалов (толщина стенки
1 мм, перепад давлений 1 Па, для азота (N2)) при различных температурах
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН
Слайд 13Разъемные соединения
Резиновое уплотнение
Металлическое уплотнение
Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур
РАН
Скорость газовыделения, Па/с
резина 7889 – 5*10-5
резина ИРП-2043 – 3*10-5
нерж.сталь (обезгаженная) – 10-9
