Выращивание малодислокационных монокристаллов германия презентация

Содержание

Проблема работы Для современной промышленности актуально использование малодислокационных монокристаллов германия большого диаметра для изготовления подложек высокоэффективных фотоэлементов, СБИС и для оптических элементов. В РФ отсутствует промышленная технология выращивания малодислокационных монокристаллов германия

Слайд 1Выращивание малодислокационных монокристаллов германия
Руководитель: д-р техн. наук, профессор Каплунов И.А.
Автор:

студент магистратуры ФКСВ Иванов М.А.

Слайд 2Проблема работы
Для современной промышленности актуально использование малодислокационных монокристаллов германия большого диаметра

для изготовления подложек высокоэффективных фотоэлементов, СБИС и для оптических элементов.
В РФ отсутствует промышленная технология выращивания малодислокационных монокристаллов германия по методу Чохральского.

Слайд 3Цель работы
Изучение вопросов выращивания малодислокационных монокристаллов германия и определение условий их

получения.


Слайд 4Требования к подложкам из германия для изготовления фотопреобразователей


Слайд 5Дислокационное травление
Разработана производственная методика дислокационного травления
образцов монокристаллов германия различных кристаллографических
ориентаций


Слайд 6Выращивание монокристаллов германия
Кристаллы выращивались по методу Чохральского в установке EKZ 2700

с гибким штоком.


Слайд 7Ростовая установка EKZ 2700


Слайд 8Прочие измерения


Слайд 9Моделирование ростовых процессов
Задача: выбор оптимальной расчетной модели, описывающей динамику роста кристаллов

германия с плоским фронтом кристаллизации при использовании способа Чохральского.

Слайд 10Управляющие параметры роста


Слайд 11Допущения моделирования
 


Слайд 12Результаты
 


Слайд 13Выводы по моделированию


Слайд 14Технологические аспекты процесса выращивания монокристаллов германия


Слайд 15Загрузка
Для загрузки используется германий поликристаллический зонноочищенный (ГПЗ), прошедший химическую обработку с

целью удаления оксидной пленки с его поверхности, а также обороты германия.


Зависимость удельного электросопротивления полупроводников от концентрации примеси


Слайд 16Вакуумирование ростовой установки
Вакуумирование ростовой установки осуществляется с целью подготовки атмосферы вакуумных

камер к ростовому процессу

Слайд 17Плавка


Слайд 18Затравление
Затравление – подготовка к началу процесса выращивания, в которой затравочный кристалл

приводится в контакт с расплавом.

Слайд 19Выращивание шейки
Выращивание шейки осуществляется для того, чтобы предотвратить прорастание дислокаций, образованных

в результате термического удара, в объем растущего монокристалла.

Слайд 20Выход на диаметр
Чем меньше дислокаций в конце роста шейки, тем меньше

дислокаций будет при выходе на заданный диаметр.

Слайд 21Рост цилиндра
Регулировка роста цилиндра должна осуществляться максимально мягко, без резких изменений

температуры нагревателя или скорости вытягивания.

Слайд 22Выращивание обратного конуса и охлаждение
Обратный конус выращивают для того, чтобы уменьшить

последствия термического удара путем уменьшения диаметра сечения кристалла, который отрывают от поверхности расплава.

Охлаждение малодислокационных кристаллов германия следует проводить как можно более медленно, особенно в диапазоне высоких температур (более 500°С).


Слайд 23Практическая часть


Слайд 24Выращивание монокристаллов
ИНСТРУКЦИЯ ПО ВЫРАЩИВАНИЮ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ ИОТ-ПЭОК-01-16 (Издание № 1)


Слайд 25Выращенные монокристаллы
Монокристалл диаметром 200 мм и длиной 400 мм
Монокристалл диаметром 80

мм и длиной 950 мм

Слайд 26Контроль плотности дислокаций в монокристаллах
Плотность
дислокаций
в кристалле
диаметром 55 мм
и длиной прямого

конуса
110 мм –
787 см-1

Слайд 27Выводы и результаты


Слайд 29СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ!


Обратная связь

Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Что такое ThePresentation.ru?

Это сайт презентаций, докладов, проектов, шаблонов в формате PowerPoint. Мы помогаем школьникам, студентам, учителям, преподавателям хранить и обмениваться учебными материалами с другими пользователями.


Для правообладателей

Яндекс.Метрика