Сканирующий электронный микроскоп
Плотность тока источника описывается законом Ричардсона:
где А – «константа» Ричардсона, А/м2К2, зависящая от материала, ток J возникает когда источник нагрет до температуры Т при которой kT сопоставимо с потенциальным барьером Ф – работой выхода электронов
Яркость электронного источника – плотность тока на единицу телесного угла источника, [А/м2стеррад]
полевые источники
с холодным катодом
с «теплым» катодом (катод Шоттки)
T = 1700 K
P = 10-6 Па
T = 300 K
P = 10-9 Па
Конденсорная линза – уменьшение размеров кроссовера электронной пушки
Узел сменных диафрагм с механизмом ввода и микровинтами центровки – выбор условий освещения исследуемого объекта
Стигматор объективной линзы – корректировка астигматизма
Объективная линза – формирование тонкого сходящегося пучка электронов (зонда) на объекте
Сканирующие катушки – перемещение электронного зонда по поверхности образца
1 – расходящийся пучок электронов; 2 - медная обмотка; 3 – оболочка из магнитомягкого материала (броня); 4 – внешний корпус; 5 – зазор либо полюсный наконечник; 6 – водоохлаждаемая пластина; 7 – подвод воды; 8 – подвод электропитания.
Сферическая аберрация связана с неидеальным действием на лучи, идущие вдали от оптической оси. Чем дальше от оси движется электрон, тем сильнее он отклоняется по направлению к оси.
В параксиальном приближении точка будет изображаться диском с диаметром
Сs – коэффициент сферической аберрации [м] – для сильных магнитных линз примерно равен их минимальному фокусному расстоянию.
Астигматизм связан с нарушением идеальной вращательной симметрии магнитного поля линзы вследствие неточности геометрии полюсных наконечников, неоднородности состава и структуры сердечника линзы, загрязнений.
Нарушение осевой симметрии поля приводит к эллипсовидным искажениям электронного пучка.
Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:
Email: Нажмите что бы посмотреть