Долят
в общем
объеме
воздуха
R
Размер частицы
Т – технологический фактор
R
Длина канала
Ширина канала
ПДР
ПДР
Самосовмещение «Полный эмиттер»
Традиционный маршрут
Критичная фотолито- графия
Диффузия фосфора
n
n
n
p
p
p
n
Открытое травление оксида
Диффузия фосфора
n
n
n
p
p
n
p
Коэффициент
сегрегации
1017 см-3
ДА Нет
Инверсный канал
Инверсный слой
Охранная область
Р
Ионная имплантация бора
Инверсный канал
Охранная
область
Самосовмещенная структура
p
Латеральная
диффузия бора
Ионная имплантация фосфора
Удаление оксида
n
p
n
p
n
p
n
p
n
p
Боковое подтравливание жертвенного слоя
Конформное осаждение оксида
Растворение жертвенного слоя – «взрыв»
Ионная имплантация фосфора
Удаление оксида
n
n
n
n
n
n
p
p
p
p
p
p
p
p
n
M2
M1
n
p
p
Фоторезист
Нитрид магния ( перекисно-аммиачная смесь)
Пиролитический оксид кремния ( плавиковая кислота)
Полиимид ( кислородная плазма)
Термический оксид кремния ( плавиковая уислота)
Кремний ( п-типа)
Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:
Email: Нажмите что бы посмотреть