Центр коллективного пользования микросистемной техники и интегральной сенсорики (ЦКП МСТИС) презентация

вычислительных систем имени академика А.В. Каляева Южного федерального университета

Директор НИИ МВС ЮФУ
член-корреспондент РАН И.А. Каляев

Руководитель ЦКП МСТИС, зам. директора НИИ МВС ЮФУ, к.т.н.
В.Н. Котов

Центр коллективного пользования микросистемной техники и интегральной сенсорики (ЦКП МСТИС)

техники и интегральной сенсорики (ЦКП МСТИС)

Структура ЦКП МСТИС:
лаборатория схемотехнического и топологического проектирования и измерений;
участок фотошаблонов;
участок фотолитографии;
участок химии;
участок лазерно-технологический;
участок вакуумно-плазменных работ;
участок термических работ и ионного легирования;
участок сборочно-монтажных работ;
испытательный участок;
вспомогательные технологические подразделения.

лет

(CAN 2.0B) датчиков физических величин систем

Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

лет

5 лет

движения)

Перспективные разработки ЦКП МСТИС

разработки ЦКП МСТИС

в программах оснащения новым оборудованием и новым программным обеспечением. Так в рамках инновационной программы 2006 г. приобретен аппаратно-программный комплекс LabView (National Instruments).
Оформлена заявка на приобретение в 2008 году следующих позиций технологического оборудования для обеспечения выполнения работ по построению мультисенсорных нано- и микросистем на основе нанокомпозитных материалов и структур:
Многофункциональная быстродействующая печь серии РЕО фирмы ATV technologie GMBH – 45,0 млн. руб.
Установка для получения тонких эпитаксиальных пленок сложных оксидов «Плазма 50 СЭ» фирмы ООО «ЭЛИТЕХ», г. Воронеж – 2 млн. руб.
Прецизионный лазерный маркирующий комплекс ЛК «Бетамарк-2005» фирмы ООО «Центр лазерных технологий», г. Санкт-Петербург – 1,7 млн. руб.

с Программой развития ФГОУ ВПО «Южный федеральный университет» на 2007 – 2010 годы, по приоритетным научно-образовательным направлениям в рамках поискового проблемно-ориентированного проекта, направленного на создание научно-технического задела и совершенствования подготовки научно-педагогических кадров в области микроэлектронных интеллектуальных мультисенсорных устройств и мониторинговых систем на тему «Мультисенсорные микро- и наносистемы мониторингового контроля и диагностики с интеллектуальными устройствами сбора и передачи информации по цифровым и беспроводным технологиям» по направлению конкурсного отбора «Генерация конкурентоспособной на мировом уровне инновационной системы ЮФУ для обеспечения подготовки высококвалифицированных кадров, малых коллективов и формирования инновационной среды ЮФО, РФ (инновационные проекты)».