- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Расчет параметров слоев презентация
Содержание
- 1. Расчет параметров слоев
- 2. [Ом·см]
- 3. [Ом/•] N(hслоя) = Nподл, N(hслоя) = Nэпитакс Nэмиттера(h эмиттера) = Nакт базы(h эмиттера)
- 4. Диффузия в полуограниченную область Случай неограниченного источника
- 5. Примесь знаем, выбираем Т Условие
- 6. Примесь знаем, Выбираем Q Условие
- 7. Двух- и трехмерные точечные источники r
- 8. «Разгонка» примеси Многостадийная диффузия
- 9. заг разг разг заг заг заг заг
- 10. Рост пленок SiО2
- 11. Зависимость толщины маскирующей пленки SiO2 от режимов проведения диффузии
[Ом·см]
Слайд 4Диффузия в полуограниченную область
Случай неограниченного источника примеси
N(x,t) = Ns erfc
(x/L)
Случай ограниченного источника примеси
N(x,t) = exp ( - x2 /L2)
характеристическая
длина диффузии
Случай ограниченного источника примеси
N(x,t) = exp ( - x2 /L2)
характеристическая
длина диффузии
Слайд 5Примесь знаем,
выбираем Т
Условие 1
Условие 2
Получаем t,
если меньше 10 минут
или больше 10 часов
находим
находим
N(hслоя) = Nфоновое
Слайд 6Примесь знаем,
Выбираем Q
Условие 1
Условие 2
Получаем Dt
(как одну переменную)
N(hслоя) = Nфоновое
Если
заданы параметры после разгонки
Подбираем под Q
T и t загонки
выбираем Т
Получаем t,
если меньше 10 минут или больше 10 часов
Слайд 7Двух- и трехмерные точечные источники
r - расстояние от источника диффузанта
m= 1/2, 1 и 3/2, соответственно, для одно-, двух- и трехмерного источников
Формула Пуассона
Слайд 8«Разгонка» примеси
Многостадийная диффузия
Если Dр tр > 3 Dз tз
Если Dр tр • Dз tз
характеристическая величина D t = Dз tз + Dр tр
Dр tр = Dр1 tр1 + Dр2 tр2 + … + Dрi tрi
Слайд 9заг
разг
разг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
разг
заг
заг
заг
заг
заг
заг
