Осаждение нитрида кремния презентация

Содержание

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Добавление слоя поликремния (Поли0)

Слайд 1Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Осаждение нитрида

кремния


Слайд 2Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Добавление слоя
поликремния

(Поли0)


Слайд 3Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения

через
1-ый уровень маски (Поли0),
используя литографию


Фоторезист

Слайд 4Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Удаление ненужного

Поли0,
используя реактивное
ионнное травление

Слайд 5Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Осаждение 1-ого

слоя оксида,
используя LPCVD
(химическое осаждение из газовой
фазы при пониженном давлении)

Слайд 6Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения


через маску 2-го уровня
(углубление) используя фотолитографию...

Фоторезистt

и глубинное реактивное
ионное травление

Слайд 7Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения


через маску 2-го уровня
(углубление) используя фотолитографию...

Фоторезист

и глубинное реактивное
ионное травление

Слайд 8Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение безпримесного
осаждённого

слоя поликремния (Поли1)
используя LPCVD…

Затем осаждение PSG
(фософосиликатного стекла)
и отжиг

Слайд 9Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos


Нанесение изображения

через
4-й уровень маски (Поли1),
используя фотолитографию...

Фоторезист

и глубинное реактивное
ионное травление

Слайд 10Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Осаждение 2-го

слоя
оксида

Слайд 11Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения

через
маску 5-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление

Слайд 12Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения

через
маску 6-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление


Слайд 13Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Осаждение безпримесного

поликремния,


затем нанесение PSG
(фосфосиликатное стекло)
слоя жёсткой маски,


затем отжиг

Слайд 14Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения

через
маску 7-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление


Слайд 15Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Нанесение изображения

через
маску 8-го уровня, используя
фотолитографию и отрыв,
затем удаление ненужного
фоторезиста и металла
в ванне растворителя

Слайд 16Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos

Реализация структуры,

используя HF

Si подложка

Похожие презентации

Исследование процесса диффузии на примере движения частиц в жидкостях и газах 441
Магнитті қатты материалдар және оны техникада қолдану әдістері 1080
Упражнения по теме скорость химической реакции 584
Парфюмерия. Основные химические элементы, производство 543
Тасты тұз кен орнындағы натрий хлорды қоспалардан тазалауды зерттеу 553
Жидкие системы 472

Обратная связь

Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Что такое ThePresentation.ru?

Это сайт презентаций, докладов, проектов, шаблонов в формате PowerPoint. Мы помогаем школьникам, студентам, учителям, преподавателям хранить и обмениваться учебными материалами с другими пользователями.

Для правообладателей

Яндекс.Метрика