- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Технология формирования пленок оксида свинца презентация
Технология формирования пленок оксида свинца: Метод нанесения тонких пленок оксида свинца: ВЧ-магнетронное распыление в атмосфере аргон-кислород. В качестве мишени использовался порошок PbO2 (ЧДА), распределенный
Слайд 2Технология формирования пленок оксида свинца:
Метод нанесения тонких пленок
оксида свинца:
ВЧ-магнетронное распыление в атмосфере аргон-кислород.
В качестве мишени использовался порошок PbO2 (ЧДА), распределенный равномерным слоем по всей поверхности магнетрона.
ВЧ-магнетронное распыление в атмосфере аргон-кислород.
В качестве мишени использовался порошок PbO2 (ЧДА), распределенный равномерным слоем по всей поверхности магнетрона.
1. На окисленную поверхность кремния наносится тонкий адгезионный слой Ti толщиной ~ 30 нм.
2. Напыление нижнего электрода (Pt ~ 150 нм).
3. Осаждение тонкой пленки PbO (0,2 - 1 мкм).
4. Высокотемпературный отжиг структур в кислородосодержащей среде при температурах 400 и 580 °С.
5. Нанесение Pt электродов методом ионно-плазменного осаждения.
Объект исследования
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
им. Ульянова (Ленина) «ЛЭТИ»
8
