Лекция 10
Интегральные микросхемы (часть 2)
Производство интегральных микросхем
- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Производство интегральных микросхем презентация
Содержание
- 1. Производство интегральных микросхем
- 2. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 3. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 4. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 5. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 6. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 7. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 8. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 9. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 10. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 11. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 12. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 13. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 14. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 15. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 16. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 17. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 18. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 19. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 20. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 21. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 22. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
- 24. ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел.
ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем
Слайд 1ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Слайд 2ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус
Слайд 3ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Изготовление монокристалла методом Чохральского
1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм вытягивания
Слайд 4ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Разрезка монокристалла на пластины
Слайд 5ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема формирования слоев методом фотолитографии
Слайд 6ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2
Слайд 7ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение фоторезистива
Слайд 8ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование рисунка
Слайд 9ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Фотошаблон
Слайд 10ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
Слайд 11ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
Слайд 12ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Травление
Слайд 13ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема установки травления, промывки и сушки
1 – ротор
2 – днище камеры с отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и отмывки
5 – платформа с пластинами
6 – съемная крышка
Слайд 14ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование слоев
(диффузия)
Слайд 15ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Рабочая камера диффузионной печи
Слайд 16ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
Слайд 17ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
Слайд 18ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Ломка пластин на отдельные кристаллы
Слайд 19ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка в корпус
Слайд 22ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Технология
«напряженный кремний»
