Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9) презентация

Содержание

Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ [ 1 ]

Слайд 1Лекция 9 Особенности формирования областей исток-сток МОПТ


Слайд 2Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ

[ 1 ]


Слайд 3Эффект образования горячих носителей

[ 2 ]


Слайд 4Причины и следствия образования горячих носителей


Lк Nп

Xопз E УИ ГН Ин Uп ВЖ











Слайд 5Механизм образования ловушек для горячих носителей

[ 1 ]


Слайд 6Влияние горячих носителей на ВАХ МОПТ


Стресс
до
после
[ 1 ]


Слайд 7LDD структура стока


Затвор
Спейсер
Подзатворный окисел
Сток
[ 2 ]


Слайд 8
[ 2 ]
Расстояние от поверхности, мкм
Влияние LDD структуры на распределение электрического

поля

Слайд 9Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время жизни и ток

в подложку МОПТ


Ток в подложку, А/см2

Доза

Время жизни, годы

[ 2 ]

LDD
формирется ОПЗ сужается

Область cуществования LDD


Слайд 10
[ 2 ]
Маршрут формирования МОПТ с LDD структурой


Слайд 11
[ 3 ]
Изменение глубины LDD структуры от технологического уровня


Слайд 12Зависимость тока насыщения МОПТ от длины канала и уровня легирования LDD

структуры


[ 3 ]


Слайд 13
LDD
[ 3 ]
Влияние перекрытия LDD структуры электродом затвора на ток насыщения

МОПТ

Слайд 14Факторы, влияющие на величину сопротивления LDD стока МОПТ

[ 2 ]


Слайд 15Эффект обеднения LDD - структуры

[ 2 ]

Обеднение области п-типа
Отрицательный

заряд



Слайд 16Конструктивные варианты LDD структуры

[ 2 ]
Градиентно-скрытый LDD
Скрытый LDD
Поверхностный LDD


Слайд 17Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени испытания для различных LDD
[

2 ]

Поверхностный LDD

Скрытый LDD

Градиентно-скрытый LDD

Деградация крутизны

Время испытаний, час


Слайд 18 Маршрут изготовления градиентно-профильной LDD структуры

[ 2 ]
Иония имплантация мышьяка (

малая доза )

Ионная имплантация фосфора

Формирование спейсеров


Ионная имплантация мышьяка ( большая доза и энергия )

Слайд 19Маршрут формирования LDD КМОП ИС с двумя карманами
[ 2 ]


Слайд 20Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей


Слайд 21Гало-области МОПТ

[ 2 ]
Маршрут формирования МОПТ
с локальной гало-областью
МОПТ с гало-областью


Слайд 22Влияние режимов формирования гало-области на изменение порогового напряжения МОПТ

[ 1 ]



Слайд 23
[ 1 ]
Влияние гало-области на напряжение смыкания ОПЗ исток-сток


Слайд 24Влияние режима формирования гало-области на подпороговый ток МОПТ

[ 1 ]


Слайд 25
1 – с гало-областью\
2 – без гало-области
Зависимость тока выключения от тока

насыщения для двух типов МОПТ

[ 1 ]


Обратная связь

Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Что такое ThePresentation.ru?

Это сайт презентаций, докладов, проектов, шаблонов в формате PowerPoint. Мы помогаем школьникам, студентам, учителям, преподавателям хранить и обмениваться учебными материалами с другими пользователями.


Для правообладателей

Яндекс.Метрика