- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9) презентация
Содержание
- 1. Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9)
- 2. Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ [ 1 ]
- 3. Эффект образования горячих носителей [ 2 ]
- 4. Причины и следствия образования горячих носителей
- 5. Механизм образования ловушек для горячих носителей [ 1 ]
- 6. Влияние горячих носителей на ВАХ МОПТ Стресс до после [ 1 ]
- 7. LDD структура стока Затвор Спейсер Подзатворный окисел Сток [ 2 ]
- 8. [ 2 ] Расстояние от поверхности, мкм Влияние LDD структуры на распределение электрического поля
- 9. Влияние дозы имплантации примеси для LDD на
- 10. [ 2 ] Маршрут формирования МОПТ с LDD структурой
- 11. [ 3 ] Изменение глубины LDD структуры от технологического уровня
- 12. Зависимость тока насыщения МОПТ от длины канала
- 13. LDD [ 3 ] Влияние перекрытия LDD структуры электродом затвора на ток насыщения МОПТ
- 14. Факторы, влияющие на величину сопротивления LDD стока МОПТ [ 2 ]
- 15. Эффект обеднения LDD - структуры [
- 16. Конструктивные варианты LDD структуры [ 2 ] Градиентно-скрытый LDD Скрытый LDD Поверхностный LDD
- 17. Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени
- 18. Маршрут изготовления градиентно-профильной LDD структуры
- 19. Маршрут формирования LDD КМОП ИС с двумя карманами [ 2 ]
- 20. Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей
- 21. Гало-области МОПТ [ 2 ] Маршрут
- 22. Влияние режимов формирования гало-области на изменение порогового напряжения МОПТ [ 1 ]
- 23. [ 1 ] Влияние гало-области на напряжение смыкания ОПЗ исток-сток
- 24. Влияние режима формирования гало-области на подпороговый ток МОПТ [ 1 ]
- 25. 1 – с гало-областью\ 2 –
Слайд 8
[ 2 ]
Расстояние от поверхности, мкм
Влияние LDD структуры на распределение электрического
поля
Слайд 9Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время жизни и ток
в подложку МОПТ
Ток в подложку, А/см2
Доза
Время жизни, годы
[ 2 ]
LDD
формирется ОПЗ сужается
Область cуществования LDD
Слайд 16Конструктивные варианты LDD структуры
[ 2 ]
Градиентно-скрытый LDD
Скрытый LDD
Поверхностный LDD
Слайд 17Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени испытания для различных LDD
[
2 ]
Поверхностный LDD
Скрытый LDD
Градиентно-скрытый LDD
Деградация крутизны
Время испытаний, час
Слайд 18 Маршрут изготовления градиентно-профильной
LDD структуры
[ 2 ]
Иония имплантация мышьяка (
малая доза )
Ионная имплантация фосфора
Формирование спейсеров
Ионная имплантация мышьяка ( большая доза и энергия )
Ионная имплантация фосфора
Формирование спейсеров
Ионная имплантация мышьяка ( большая доза и энергия )
Слайд 21Гало-области МОПТ
[ 2 ]
Маршрут формирования МОПТ
с локальной гало-областью
МОПТ с гало-областью
Слайд 25
1 – с гало-областью\
2 – без гало-области
Зависимость тока выключения от тока
насыщения для двух типов МОПТ
[ 1 ]
