Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, физический факультет, Москва. E-mail: obraz@acryst.phys.msu.ru
- Главная
- Разное
- Дизайн
- Бизнес и предпринимательство
- Аналитика
- Образование
- Развлечения
- Красота и здоровье
- Финансы
- Государство
- Путешествия
- Спорт
- Недвижимость
- Армия
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси презентация
Содержание
- 1. Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси
- 2. Введение Активация газовой
- 4. Схема процесса газофазного осаждения
- 5. Общий вид вольт-амперной характеристики газового разряда
- 6. Вольт-амперные характеристики газового разряда при различных параметрах
- 7. Эмпирическая формула U(I,P)=kIP+dP+aI2+bI+c - эмпирическая зависимость напряжения между электродами от силы тока и давления
- 8. Модель осаждения углеродных пленок 1),
- 9. Результаты В результате исследования были
Введение Активация газовой фазы посредством инициации электрического разряда является одним из наиболее распространенных методов, используемых при газофазном химическом осаждении (ГФХО). При этом характеристики получаемой плазмы и стабильность
Слайд 1Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси
Устинов А. О., Золотухин А.
А., Волков А. П., Образцов А. Н.
Слайд 2Введение
Активация газовой фазы посредством инициации электрического разряда
является одним из наиболее распространенных методов, используемых при газофазном химическом осаждении (ГФХО). При этом характеристики получаемой плазмы и стабильность разряда зависят от многочисленных параметров и определяют возможность получения ГФХО пленок с заданными характеристиками. В данной работе проводились исследования вольт-амперных характеристик плазмы разряда постоянного тока в газовой смеси метана и водорода.
В работе анализируются модельные представления, описывающие процесс осаждения углеродных пленок из газовой фазы.
В работе анализируются модельные представления, описывающие процесс осаждения углеродных пленок из газовой фазы.
Слайд 3
высоковольтный блок питания
H
2
CH4
регуляторы расхода газа
насос
подложка
анод
катод
металлическая камера с
водяным охлаждением стенок
Конструкция установки
Слайд 6Вольт-амперные характеристики газового разряда при различных параметрах
Вольт-амперные характеристики газового разряда при
давлении 80 Torr и концентрации метана 0, 2, 4, 8 и 15% в газовой смеси
Вольт-амперные характеристики газового разряда при концентрации метана 8% и давлении 50, 60, 80, 100 и 110 Torr газовой смеси
Слайд 7Эмпирическая формула
U(I,P)=kIP+dP+aI2+bI+c - эмпирическая зависимость напряжения между электродами от силы тока
и давления
Слайд 8Модель осаждения углеродных пленок
1), 2) формирование углеродных кластеров разных типов
3)
рост графенового листа
4) механическая нестабильность графенового листа
5) закручивание графенового листа в нанотрубку
4) механическая нестабильность графенового листа
5) закручивание графенового листа в нанотрубку
Слайд 9Результаты
В результате исследования были определены границы стабильности разряда, выявлена
взаимосвязь электрических параметров разряда (напряжения и тока) с давлением и составом газовой смеси. Полученные экспериментальные данные позволили установить эмпирическую формулу, описывающую их взаимосвязь с межэлектродным напряжением и током разряда. Также в работе была приведена модель осаждения углеродных пленок.
