Средства получения вакуума.
Механические и пароструйные
вакуумные насосы , ловушки
Основы вакуумной техники
Проф. д.т.н. Деулин Евгений Алексеевич
Основы вакуумной техники
Проф. д.т.н. Деулин Евгений Алексеевич
1
2
3
Подача балластного газа
.
.
.
.
.
∅95×134
S 68 л/с
Рпред 10-9 Па
∅97×113
S 30 л/с
Рпред 10-9 Па
PADT TMP
.
.
.
.
электрод
V =100 см3 , m =100 г
C Sin(ωt)
C Cos(ω t)
пьезокольцо
электрод
Откачивающая камера
C Cos(ω t)
C Sin(ωt)
статоры
.
мембрана пьезопривода
мембраны
.
нагреватель
Капиллярная часть
Соединительная часть
уплотнение
.
.
.
Здесь «вязкостный» перенос,
поэтому нет охлаждения
Здесь «вязкостный» перенос газа,
поэтому нет охлаждения корпса
Здесь «вязкостный» перенос, ( нет охлаждения)
Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:
Email: Нажмите что бы посмотреть