Слайд 1Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных областей
Ю. К. Васильев
ЗАО «Индустриальный
технический вакуум»
Москва,
Россия
Слайд 2BOC Edwards
BOC Edwards – мировой лидер в проектировании и производстве оборудования
для самых высокотехнологичных областей промышленности
Традиционное английское
качество в области вакуумных
технологий
Более 80 лет на рынке
высокотехнологичного
оборудования
70 представительств компании
по всему миру, в которых занято
более 2000 человек
100% гарантия качества и поддержка потребителей во всем мире
Слайд 3Закрытое акционерное общество «Индустриальный Технический Вакуум»
ЗАО «Интек Вакуум» - эксклюзивный поставщик
продукции ведущего мирового производителя и разработчика вакуумной техники, британской компании BOC Edwards в Россию, Белоруссию и Украину
Представительства в крупнейших городах России
Комплексный подход к работе:
Поставка
Сопровождение и сервисное обслуживание оборудования
Модернизация производственных линий и технологий на производстве
Консультации, технологическая и методологическая поддержка
Слайд 4Малогабаритные вакуумные насосы
Одно- и двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением (быстрота
действия до 9 л/с, остаточное давление менее 10-3 мбар)
Безмасляные мембранные насосы (быстрота действия до 0,55 л/с, остаточное давление менее 2 мбар)
Безмасляные спиральные насосы (быстрота действия до 10 л/с, остаточное давление менее 2·10-2 мбар)
Слайд 5Промышленные вакуумные насосы
BOC Edwards представляет полный спектр вакуумного оборудования для промышленного
использования
Сухие вакуумные насосы для
полупроводниковых
производств и чистых газов
(быстрота действия
до 500 л/с, диапазон
давлений от атмосферного
до менее чем 10-3 мбар)
Слайд 6Высоковакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы (быстрота действия до 3500 л/с, остаточное давление менее
10-10 мбар)
Высоковакуумные диффузионные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-9 мбар)
Магниторазрядные и сублимационные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-11 мбар)
Криогенные насосы, криоголовки и кроиохладители (быстрота действия до 10000 л/с)
Инновационные сухие турбонасосы с выхлопом на атмосферу (быстрота действия до 140 л/с, остаточное давление менее 10-6 мбар)
Слайд 7Откачные посты
Промышленные откачные почты с механическим бустерным насосом (быстрота откачки до
8300 л/с, до давления 10-5 мбар)
Лабораторные высоковакуумные откачные посты безмасляной откачки (быстрота откачки до 255 л/с, до давления 10-10 мбар)
Лабораторные высоковакуумные откачные посты с диффузионным насосом (быстрота откачки до 280 л/с, до давления 10-8 мбар)
Слайд 8Технологические системы
Модули для нейтрализации технологических газов в полупроводниковых процессах: модули тепловой
переработки, влажные скрубберы, газовые реакционные колонны, обработка пирофорных веществ, системы поддержания температуры и др.
Установки для нанесения тонких пленок компании BOC Edwards предназначены для исследовательских, конструкторских и опытных применений в любых областях науки и производства. Модульная конструкция предусматривает широкие возможности для перестройки (модернизации) системы, позволяя исследователю идти в ногу с самыми передовыми технологиями.
Установки плазмохимического травления (AOE, ASE, ISP, RIE, PECVD, XeF2) и нанесения алмазоподобных покрытий
Слайд 9Вакуумные измерения
Полный спектр вакуумметров от атмосферы до 10-11 мм рт.ст. Точность
до 0,15% от измерения. Питание 24 В, аналоговый выход 0..10 В. Длина кабеля до 100 м.
ВНЕСЕНЫ В РЕЕСТР СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ.
Контроллеры и дисплеи: до 6-ти любых вакуумметров одновременно, связь с ЭВМ. Настольное и встраиваемое исполнение. Возможность управления турбо- и форнасосом.
Слайд 10Вакуумная и газовая арматура
Электромагнитные, пневматические и ручные клапаны, затворы для низкого
и высокого вакуума. Натекатели, клапаны напуска, шаровые клапаны. Условный проход до 1,5 м. Количество циклов до 5 000 000. Полностью металлические прогреваемые клапаны.
Интеллектуальные высоковакуумные клапаны и затворы с обратной связью. Управление проводимостью.
Промышленные вакуумные и газовые клапана с любым типом актуаторов. Управление проводимостью клапана. Стандартный ряд до 1,5 м. Измерители и регуляторы расхода газа
Полный спектр вакуумной крепежной арматуры всех распространенных типоразмеров (NW, CF, ISO, ASA). Гибкие трубопроводы и сильфоны. Смотровые окна. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ.
Углеводородные и синтетические вакуумные масла для форвакуумных и диффузионных наосов. Вакуумные смазки. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ.
Вакуумные электрические вводы. Вводы для подачи жидкости. Механические вводы и манипуляторы.
Фильтры, фильтрующие элементы, глушители для вакуумного и газодувного оборудования