v: belépő ion sebessége
V: gyorsító feszültség
Ha kell, izotópos tisztaságot tesz lehetővé
Maximum: Rp
Szórás: ΔRp
Atomokkal való kölcsönhatás
Elektronokkal való kölcsönhatás
Ha M1>>M2, akkor RRp
Modellezés: http://www.gs68.de/software/simplant/index.html
2
Amorf Si Si-ba <763> irányból lőve
Gyémántrács˙különböző irányokból
Ionimplantációval kialakított adalékprofil
1/cm2
"It was as though one fired a bullet at a piece of paper, and it bounced back at you!" - Ernest Rutherford
Если не удалось найти и скачать презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:
Email: Нажмите что бы посмотреть