Исследование макета криогенного насоса презентация

А.С.
Проверил: Адарчин С.А.

до 5 мТорр )

Ионная имплантация
( давления в диапазоне от 10-8 до 10-4 Торр )

Испарение
(давления в диапазоне от 10-5 до 10-7 Торр )

Сти́рлинга — термодинамический цикл, описывающий рабочий процесс машины Стирлинга, запатентованной в 1816 г. шотландским изобретателем Робертом Стирлингом. Идеальный цикл Стирлинга состоит из процессов:
1—2 изотермическое расширение рабочего тела с подводом тепла от нагревателя;
2—3 изохорный отвод тепла от рабочего тела к регенератору;
3—4 изотермическое сжатие рабочего тела с отводом тепла к холодильнику;
4—1 изохорический нагрев рабочего тела с подводом тепла от регенератора.

в л/сек )

2. Параметр включения крионасоса (crossover)
(позволяет оценить температуру на конденсирующих ступенях )

3. Емкость
(Определяется количеством газа, которое может захватить насос без изменения рабочих параметров )

)

Емкость по водороду
(скорость зависит от насыщенности адсорбирующего вещества )

Восстановление давления
(Требуется, чтобы конденсируемые газы контактировали только с поверхностями, температура которых намного ниже 20 К; и уменьшение температурного взаимовлияния конденсируемого вещества )

Встроенная система управления
(Возможности позволяют обнаружить и скомпенсировать внешние возмущающие воздействия, как уменьшение напуска технологических газов и др )