Измерительная схема дифференциального датчика перемещения для системы позиционирования сканирующего зондового микроскопа презентация

ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» Факультет «Автоматика и электроника» Кафедра № 26 «Электронные измерительные системы»

Выпускная квалификационная работа
«Измерительная схема дифференциального емкостного датчика перемещения для системы позиционирования сканирующего зондового микроскопа»

Студент: Канунникова В.Н.
Руководитель: к.т.н. Мещеряков В.В.
Рецензент: д.т.н. Сясько В.А.

перемещения для системы позиционирования СЗМ.

наноструктурированных материалов. Емкостные датчики перемещения являются составной необходимой частью систем позиционирования современных зондовых сканирующих микроскопов.

платы: 0.258 кв.дм;
Количество слоев: двусторонняя;
Паяльная маска: зеленая паяльная маска;
Толщина дорожек: 1мм;
Переходные отверстия открыты от паяльной маски: да.

С

генератора и сигнал ОС
при

схемы в программе Altium Designer;
разработана и изготовлена печатная плата;
изготовлен макет измерительной схемы емкостного датчика;
произведена отладка макета измерительной схемы;
произведены экспериментальные исследования макета: исследованы динамические и точностные свойства макета;
получены осциллограммы работы макета в каждой точке;
оценено быстродействие схемы, динамический диапазон и шумы в выходном сигнале.

верхняя граница ограничена перегрузкой в схеме, нижняя ограничена шумами схемы.
Экспериментально исследовано быстродействие измерительной схемы. По результатам эксперимента минимальное время установления переходного процесса измерительной схемы составило 2мс.
Экспериментально исследован шум в выходном сигнале макета. Он составляет единицу младшего разряда АЦП, что соответствует 60мкВ.